（独）産業技術総合研究所は7月7日、（株）シーゼットアイと共同で透過型電子顕微鏡(TEM)を分解せずにクリーニングする方法を開発したと発表した。
　TEMの内部は、高真空に維持されているが、数々の分子が浮遊している。真空ポンプのオイル、試料の気化やダメージによる分解物などが装置の長年の使用により、顕微鏡の内壁に付着・堆積し、一部はガス化して再び真空中に浮遊する。
　これらの分子には、炭化水素系の化合物（ハイドロカーボン）が含まれており、そこに電子線が当たると、分子が分解され、観察対象である試料に汚染物として付着し、分析能力を低下させることになる。しかし、これまで装置を分解せずに清掃する方法はなかった。
　新開発のクリーニング法は、プラズマ発生装置で作った活性酸素を内部循環させることにより汚染源を化学的に分解して外部に排除し、顕微鏡を分解することなく汚染物を取り除くというもの。
　クリーニングの頻度は、試料の種類や目的により異なるが、「このクリーニングを行うことにより、高分子材料など有機試料の分子レベルでの精度や分析データの信頼性が格段に向上する」と産総研ではいっている。
　電子線トモグラフィー、ナノビーム電子回折、電子線エネルギー損失分光（EELS）、X線エネルギー分光（EDX）、走査透過型電子顕微鏡（STEM）など、長時間の電子線照射が必要な分析装置にも有効で、各種最先端の材料分析に応用されそうだ。
　研究の詳細は、8月3～7日に米国ニューメキシコ州のアルバカーキ市で開催される米国顕微鏡学会主催の「Microscopy & Microanalysis 2008」で発表の予定。